Az elektronsugár használatának jellemzői kis lyukak feldolgozására a gépiparban

Az elektronsugaras feldolgozás vákuumkörülmények között történik, a rendkívül nagy energiasűrűségű, fókuszált elektronsugarat használva a munkadarab felületén nagyon kis területet nagyon nagy sebességgel ütnek be. Nagyon rövid idő alatt energiájának nagy része hőenergiává alakul, így A munkadarab anyaga az ütköző részben több ezer Celsius fokos magas hőmérsékletet ér el, ami az anyag lokális elgázosodását okozza, és a vákuum elszívja. rendszer. Jelenleg 3 um-nál kisebb átmérőjű furatok is megmunkálhatók, ami különösen előnyös a mikroelektronika területén számos alkatrész fúrásához. A mikrolyukak megmunkálásakor nélkülözhetetlen feldolgozási módszer. Az elektronsugaras feldolgozás jellemzői ①Elméletileg az elektronsugaras feldolgozás kisméretű, 1 um-nál kisebb átmérőjű lyukakat is képes feldolgozni. Ugyanakkor az elektronsugár fókuszálása után a legvékonyabb rész hossza több tucatszorosa a keresztmetszete átmérőjének, így alkalmas kis mély lyukak feldolgozására ②Az elektronsugár intenzitása és helyzete könnyen szabályozható a mágneses mező és az elektromos mező, így könnyen programozható a vezérlés, valósítsa meg az automatikus, nagy sebességű kis lyukak fúrását ③ Amikor elektronsugaras kis lyukakat fúr, az erő kicsi, a feszültség és az alakváltozás kicsi, használható rideg anyagokon, képlékeny anyagokon, vezetőkön és nem vezetőkön. ④ Az elektronsugaras kis lyukak nagy vákuumban készülnek Közepes körülmények között, szinte teljesen elkerüli az oxidációs jelenséget a levegős feldolgozásban, és különösen alkalmas kis lyukak fúrására könnyen oxidálódó anyagokban és félvezető anyagokban, rendkívül magas tisztasági követelményekkel. ⑤Az elektronsugaras fúráshoz több tízezer voltos gyorsítófeszültségre és szivattyúzási magasságra van szükség. A vákuumberendezés bonyolultabb és drágább. Ezért bizonyos korlátai vannak a gyártásban és az alkalmazásban. Jelenleg elsősorban a mikroelektronikai ipar területén használják. Előző: Az ultrahangos megmunkálás jellemzői kis lyuk megmunkálási folyamatban